杰出校友

朱煜

• 姓名：    朱煜
• 职称：    研究员、博士生导师
• Email地址：    zhuyu@tsinghua.edu.cn
• 通信地址：    清华大学 精密仪器与机械学系 制造工程研究所IC装备
• 办公地点：    伟清楼405

教育背景

• 博士 中国矿业大学机械工程学院 2001年获机械设计及理论工学博士学位
• 硕士 中国矿业大学信息电子工程学院 1993年获计算机应用工学硕士学位
• 学士 学院无线电电子学系 1983年获无线电电子学理学学士学位

工作履历

• 2004.9~至今    清华大学精仪系制造所任教
• 2001.9~2004.8    清华大学制造所博士后
• 1999.9~2001.8    清华大学制造所访问学者
• 1983.8~2004.8    中国矿业大学任教

学术兼职

• “十五”“十一五”某领域国家重大专项咨询组成员, 专家组副组长;
• 《半导体学报》杂志常务理事;
• 北京市电子制造装备行业协会常务理事;
• 机械工程学会高级会员。

研究领域

• 精密测量与控制理论、超精密机械设计与制造、电子制造工艺机器装备

研究概况

• 近年来主要从事IC制造装备发展战略与规划、集成电路制造装备超精密测量与控制等研究，研究领域包括：（1）IC制造装备发展战略规划；（2）IC装备超精密机械设计理论与方法；（3）IC装备超精密运动控制理论及技术；（4）超精密测量与误差补偿；（5）双光子微细加工。

奖励与荣誉

• “十一五”国家科技计划执行突出贡献奖
• 02国家科技重大专项“2010年度突出贡献奖”

学术成果

• 近5年主持撰写专题战略研究报告30余份，发表论文120余篇，其中以第一作者或学生第一作者本人第二作者被SCI、EI同时检索13篇，EI检索40余篇。申请国家发明专利60余项，PCT 5项，31项授权，美国专利授权2项。撰写专著一部。